矽晶圓

切片

將晶棒切成指定厚度的晶片

切片後清洗

將切片時晶片所沾附的稀泥、殘膠、有機物清洗乾淨

圓邊

將晶片邊圓加工,已去除邊的微裂,讓客戶應用時不會應力機中造成破片

磨平

已機械力同時磨除晶片雙面,已達到最佳的平坦度

磨平後清洗

將磨平時,晶片所沾附的稀泥與有機物清洗乾淨

蝕刻

移除前站機械加工所造成的損傷層,釋放晶片內的機械應力

熱處理

使用熱處理來移除假性電阻,使電阻測試值正確且穩定

背面破壞

於晶片背面,利用噴砂耐磨/poly的方式提供背面一個機械應力場,用來吸附正面的金屬雜質, 可以使客戶後續應用更有保障

磨平

將晶片背面以均匀的氧化矽膜包覆,,使晶片在高溫製程中,不會從背面釋放出不必要的雜質,而污染了正面的元件層

拋光

使用化學機械方式,將晶片面加工成鏡面,已供客戶使用

拋光後預清洗

將拋光蝕晶片沾附的化學液、微粒、金屬離子清洗乾淨

電阻與平坦度確認

確認晶片的電阻與平坦度符合規格

外觀檢查

使用適當燈具進行晶片表面檢查,確保晶片沒有微粒、刮傷、缺角等缺陷

終清洗

將晶片進行最後的清洗,確保洗除所有前製程帶來的微粒與金屬離子汙染

表面掃描

針對拋光面進行雷射掃描,確認面內缺陷的數量符合客戶的需求