矽晶圓
- 矽晶圓生產流程
切片
將晶棒切成指定厚度的晶片
切片後清洗
將切片時晶片所沾附的稀泥、殘膠、有機物清洗乾淨
圓邊
將晶片邊圓加工,已去除邊的微裂,讓客戶應用時不會應力機中造成破片
磨平
已機械力同時磨除晶片雙面,已達到最佳的平坦度
磨平後清洗
將磨平時,晶片所沾附的稀泥與有機物清洗乾淨
蝕刻
移除前站機械加工所造成的損傷層,釋放晶片內的機械應力
熱處理
使用熱處理來移除假性電阻,使電阻測試值正確且穩定
背面破壞
於晶片背面,利用噴砂耐磨/poly的方式提供背面一個機械應力場,用來吸附正面的金屬雜質, 可以使客戶後續應用更有保障
磨平
將晶片背面以均匀的氧化矽膜包覆,,使晶片在高溫製程中,不會從背面釋放出不必要的雜質,而污染了正面的元件層
拋光
使用化學機械方式,將晶片面加工成鏡面,已供客戶使用
拋光後預清洗
將拋光蝕晶片沾附的化學液、微粒、金屬離子清洗乾淨
電阻與平坦度確認
確認晶片的電阻與平坦度符合規格
外觀檢查
使用適當燈具進行晶片表面檢查,確保晶片沒有微粒、刮傷、缺角等缺陷
終清洗
將晶片進行最後的清洗,確保洗除所有前製程帶來的微粒與金屬離子汙染
表面掃描
針對拋光面進行雷射掃描,確認面內缺陷的數量符合客戶的需求